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采用索尼Pregius S背照（BSI）技術(shù)傳感器，在減小相機(jī)體積的同時(shí)確保量子效率。200 nm波段量子效率高于25%，整個(gè)UVA和UVB波段量子效率在40%-50%之間。
02 支持定制化設(shè)計(jì)
標(biāo)準(zhǔn)版：傳感器帶有雙層AR（防反射）涂層的石英玻璃罩，預(yù)防變臟和損壞同時(shí)最大限度允許光線通過(guò)。
定制版：傳感器可拆卸玻璃蓋，這種設(shè)計(jì)為特殊的紫外應(yīng)用提供便利，在激光光束輪廓測(cè)繪等應(yīng)用可以避免干涉條紋的影響。
| 產(chǎn)品型號(hào) | GO-8105M-5GE-UV |
| 顏色 | ?Mono |
| 分辨率 | 2856 x 2848 |
| 幀速 | 66fps |
| 波長(zhǎng) | Visible+UV |
| 像元 | 2.74 x 2.74μm |
| 快門(mén) | 全局 |
| 芯片類型 | CMOS |
| 位深 | 8/10/12bit |
| 接口 | 5GigE |
01 晶圓細(xì)小雜質(zhì)檢測(cè)
在雜質(zhì)檢測(cè)中，照射光源通過(guò)對(duì)象物體發(fā)出的散射光進(jìn)行觀察，因?yàn)閷?duì)象物非常小，接收到的光極其微弱。比光波長(zhǎng)還要小的對(duì)象物體發(fā)出散射光是與對(duì)象物尺寸的6倍成正比，波長(zhǎng)的4倍成反比。因此，為檢測(cè)出細(xì)小雜質(zhì)需要照射更短波長(zhǎng)的光，同時(shí)還要具備非常高靈敏度。
同時(shí)在數(shù)μm以下對(duì)分辨率有要求的檢測(cè)中使用的照明光源波長(zhǎng)與所需的分辨率接近。因此，光學(xué)分辨率極限便是一個(gè)問(wèn)題。所謂分辨率是指能夠區(qū)分2個(gè)光斑距離的分辨率，它依賴于光的波長(zhǎng)。比起采用可見(jiàn)光，使用波長(zhǎng)更短的紫外線，在分辨率方面更有優(yōu)勢(shì)。
GO-8105M-5GE-UV具備8.1MP分辨率，2.74μm像元，適用于針對(duì)晶圓細(xì)小雜質(zhì)高精度檢測(cè)。
02 光掩模對(duì)準(zhǔn)
在光刻工藝中會(huì)有多種對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，掩模版上的精細(xì)圖形通過(guò)光線曝光印制到硅片上的過(guò)程中，利用光掩模和晶圓表面未對(duì)準(zhǔn)而導(dǎo)致對(duì)紫外線反射或吸收程度差異特性，用紫外相機(jī)拍攝被照亮的光掩模，進(jìn)行模版對(duì)準(zhǔn)分析。
03 塑料分選
利用UV光分選丙烯酸樹(shù)脂（PMMA）和聚苯乙烯（PS)。
通過(guò)UV圖像傳感器檢測(cè)，劣化的電絕緣體會(huì)輻射紫外線。
GO-8105M-5GE-UV面陣相機(jī)，身材小巧，寬光譜高靈敏度，保障半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)或科研領(lǐng)域研究，是紫外成像解決方案可靠選擇。
